## 双温区滑膛式管式炉概述

双温区滑膛式管式炉是一个特殊的双温区管式化学气相沉积（CVD）系统，专门为在金属箔上生长薄膜而设计。它主要应用于新一代能源领域中柔性金属箔电极方面的研究。该系统通过滑动加热和冷却过程来实现快速加热和冷却。

结构特点

1、高纯Al2O3保温材料，确保炉膛具有良好的温度均匀性。内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层，提高加热效率，并延长仪器寿命。

2、双温区石英管：外管直径100mm，内管直径80mm（内管80外管100））。金属箔缠绕在内管外表面进行CVD反应。

3、双温区管的真空密封法兰：允许反应气体通过两管之间的10mm间隙进行反应，冷却气体直接通入内管。

4、四通道质量流量计控制4路气体。

5、配备KF25快接和波纹管的高速机械泵。

6、炉底装有滑轨，使炉子能够从一端滑向另一端，实现快速升温和降温。

技术参数

1、电源电压：208-240VAC，50/60Hz，单相，2.5KW（20A保险丝）

2、设计温度：1100°C

3、工作温度：1000°C

4、加热区长度：440mm

5、炉管材质：石英管

6、炉管尺寸：外径100x内径1400mm（内管80外管100））

7、真空法兰：一对SS304不锈钢法兰，通过两个高温“O”型圈紧密密封获得高真空。

8、炉体滑轨：炉底装有一对滑轨，可手动将炉子从一端滑至另一端，实现快速加热和冷却。

温控系统

智能温控仪，带超温保护和PID调节的30段程序控制。

控温精度：+/-1°C

真空系统

真空泵：安装在移动架底部的机械泵，可达到10^-3 Torr真空度。

真空泵与手动挡板阀之间使用KF25快接和不锈钢波纹管连接。

数字真空表安装在一端的法兰上。

可选配分子泵，真空度达到10^-5 Torr。

混气系统

4路精密质量流量计混气系统，数字显示，气体流量自动控制。

MFC1范围：0~100sccm

MFC2范围：0~200sccm

MFC3范围：0~200sccm

MFC4范围：0~500sccm

气路：4路

流量精度：0.2%

进气和出气接口：1/4"卡套

配有一个混气罐

每路

每路气路都有一个独立的不锈钢针阀控制。

通过控制面板上的旋钮来调节气体流量

真空系统：

真空泵安装在移动架底部的机械泵，真空度达10-3Torr.

真空泵与手动挡板阀之间用KF25快接与不锈钢波纹管连接.

数字真空表安装在一端的法兰上.

选择：可以配分子泵，真空度达10-5Torr

可用于高校实验室、科研院所、工矿企业做粉末焙烧、陶瓷烧结、高温实验、化学分析、材料处理、电子、陶瓷、玻璃、塑料、晶石、宝石、钢材、贵金属、冶金、化工、机械、耐火材料、新材料开发、特种材料、材料质量检测之用。

可根据用户需要设计制造特殊规格产品。

1100℃双温区双层滑膛式管式炉是由双温区滑膛式管式炉厂家洛阳实验电炉生产的1100℃双温区滑膛式管式炉。