真空系统

真空配置

一台复合分子泵FB-1200(北京世纪久泰)

一台旋片机械泵BSV-30（宁波鲍斯）

极限真空

≤5.0*10-4Pa（空载、冷态、经净化）

工作真空

≤5.0*10-3Pa

压 升 率

1Pa/h（烘烤后、清洁、空载、冷态下）

真空测量

复合真空计 ZDF5227A 测量范围 1.0*105~1.0*10-5Pa

真空机组功率

4 KW

优点

效率高、无污染、低能耗、低噪音

气路系统

保护气氛：高纯氩气。充气压力≤10KPa。手动球阀、电磁阀、防爆阀、微调阀、316L不锈钢管路、扩散硅压力传感器、电接点压力表、浮子流量计组成。系统可根据不同温度段充入不同压力的冷却气体，充气压力到达压力上限设定点可自动停止充气，超压时可自动排压，当低于压力下限设定点又可自动补气。带有一路手动，用于高温停水充气保护。

水冷系统

真空炉炉体、炉门、真空机组、水冷电极都需要冷却水。该系统由主供水管分配到各冷却部位，采用闭式水循环系统，每个电极冷却均配有水流量观察仪，主管路配备水压报警系统。进水有分支接到自来水管道上，以备停电时紧急使用。2P工业冷水机。

**系统

**系统包括：停水、超温、加热过流、旋片泵、分子泵，设备具有自检、故障自诊断、自动保护、防止误操作等功能。并具有声光报警提示和具备相应的联锁、互锁保护。

设备安装运行条件

（供参考，以合同为准）

1、环境条件
1）环境温度：－15－45℃
2）海拔高度：≤2000m
3）环境相对湿度：≤75%
2、电源条件
1）额定电压：三相380V(±10V)
2）额定频率：50Hz
3）整机配电功率：≥40KW
3、水冷条件
1）水压：0.2~0.4MPa
2）进水温度：≤15℃
3）水流量：≥5m³/h
4）水质要求：不含泥沙及杂质的软水，电阻率≥1M(Ω·mm2/m)，PH≈7。本产品在运行时要求持续供应符合要求的冷却水，为保证本产品的**，需方须自备紧急用水源，当停电时仍有冷却水供给。
4、气体
1）氮气：用于保护气氛 纯度≥99.999%，0.2~0.4MPa
2）压缩空气：用于启动装置的驱动气源、压力0.3~0.6MPa，无油、无水干净的气体。

甲方责任义务

1.负责按合同规定的期限支付设备款项
2.负责协助设备在甲方现场的安装就位工作
3.负责配合乙方工作人员在甲方现场的安装调试工作
4.负责将需方现场的进、回水，总电源线，压缩空气，冷却气体、真空泵排气口连接至设备。

乙方责任义务

1.负责按本合同规定的期限如期交货
2.负责在甲方现场的安装调试工作
3.负责培训甲方操作人员达到独立操作程度

序号

配套名称

数量

配套厂家

备注

1

炉壳

1套

自制

碳钢

2

分子泵FB-1200

1台

北京世纪九泰

实际配置高于此规格，不另行通知

3

机械泵BSV-30

1台

浙江鲍斯

实际配置高于此规格，不另行通知

4

高真空挡板阀

1个

自制

5

电磁带放气阀

1个

宁波仪表阀门厂

6

波纹管、管路及其他

1套

自制

7

电接点压力表

1个

红旗仪表

8

压力变送器

1个

韩国

9

加热室

1套

自制

10

加热室壳体

1套

自制

304不锈钢

11

保温屏

1套

定制

钼+不锈钢

12

加热带钼连接件

1套

定制

13

支撑件

1套

自制

钼

14

水冷电极

1套

自制

紫铜

15

热电偶

1支

欧米伽

美国

16

进水回水管路

1套

自制

封闭式不锈钢

17

高压水管

1套

标准件

18

控制系统

1套

自制

19

温控仪表

1台

宇电

20

无纸记录仪

1台

国产

21

PLC（可编程序控制器）

1套

台达

22

触摸屏

1台

昆仑通态

10寸

23

复合真空计

1套

成都睿宝

24

控制柜体

1套

自制

序号

配件名称

主要作用

数量

1

热电偶

控制炉温/测量炉温及水温与屏温

1支

2

真空规管

测量真空度

1套

3

发热体

设备加热元件

1套

4

熔断器

保护电路**运行

1套

5

密封件

防止泄气或杂质气体进入

1套

6

垫片

加强密封

1套

7

润滑油

润滑、辅助冷却、防锈、清洁、密封和缓冲等

1瓶

序号

配件名称

主要作用

1

触摸屏

智能控制炉体运行/了解温度曲线

2

分子泵

真空系统的二级泵组

3

机械泵

真空系统的前级泵

4

压力变送器

将压力转换成模拟量信号

5

保温屏

炉膛的保温配件

6

温控仪表/控制系统

设备的温度控制/设备功能控制

7

PLC（可编程序控制器）

全自动化控制系统

8

无纸记录仪

采集炉内温度、真空度相关数据和曲线

9

炉壳/加热室壳体

设备外形包装

10

复合真空计

测量真空度

11

功率控制器

晶闸管交流调压控制