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生产厂家 | 洛阳实验电炉 | 设计温度 | 1200℃ |
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炉腔规格 | 马弗炉炉膛高温管式炉 | 可选结构 | 立式、卧式、井式、升降式 |
应用领域 | 实验室、化验室、热处理车间等 | 参考价格 | 联系客服 |
SGM TF100-1200III小型CVD系统有三温区高温管式炉、混气系统、真空系统组成。
仪器名称:三温区高温管式炉
仪器型号:SGM TF100-1200III
仪主要应用:广泛应用于新能源材料,金属材料,磁性材料,半导体材料,陶瓷材料,电化学,薄膜材料,CVD,MOCVD,PECVD,UPECVD,JPECVD,石墨烯的合成。
性能指标:
1. 真空管式炉:额定功率:5 kW
额定电压:AC220~240 V 50 Hz
最高温度:1200 ℃
额定温度:1100 ℃
炉管尺寸:Φ100×14000 mm(可选)
加热区长度:300+300+300 mm(3点控温)
升温速率:≤20 ℃/min
外型尺寸(长×宽×高):1030×430×580 mm
重量:80 kg
2. 供气系统GMF-3Z(质子流量计):
外形尺寸:600×600×650 mm
连接头类型:双卡套不锈钢接头。
标准量程(N2):100、200、500 sccm;(可根据用户要求定制)
准确度:±1.5% F.S.
线性:±0.5~1.5% F.S.
重复精度:±0.2% F.S.
响应时间:气特性:1~3 s,电特性:10 s
工作压差范围:0.1~0.5 MPa
最大压力:3 MPa
接口:Φ6,1/3''
显示:4位数字显示
工作环境温度:5~45高纯气体
内外双抛不锈钢管:Φ6
压力真空表:-0.1~0.15 MPa,0.01 MPa/格
截止阀:Φ6
3. 低真空机组VAU-02型号:VRD-8
抽速:8 m³/h
极限真空度:5×10-1Pa
电源:220 V 50 Hz
电机功率:0.4 kW
进排气连接口:KF25
用油量:0.6~1 L
电机转速:1440 rpm
工作环境温度:5~40 ℃
样品要求:固体材料
注意事项:
1. 使用前请先放入绝热塞子,绝热塞子的位置可根据实际情况向外拉出,但两边塞子位置一定要对称。
2. 降温时请利用程序降温,不建议直接按“stop”键降温,设备温度在500℃以上时不要直接关闭设备电源。
3.高温炉炉管不建议正压使用,如果要使用正压压强绝不允许超过0.02 Mpa。
仪器说明:
这款配置的低真空CVD系统集1200℃开启式真空管式炉,多通道气路系统和真空系统组成,有三个温区,可预抽真空(有高真空、低真空),通多种气氛(供气系统有质子流量器和浮子流量控制器)。真空泵可选用进口设备,性能可靠。控制电路选用模糊PID程控技术,具有控温精度高,温冲幅度小,性能可靠,简单易操作等特点。CVD生长系统适用于CVD工艺,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。可通气氛抽真空,其开启式结构使得拆装炉管方便,操作简捷,使用者可直接将密封腔体移出炉体,加快降温过程。炉管工件横穿与8组进口电阻丝的炉膛,温场均匀,内外温差可控制在3℃左右,气动弹簧支撑结构让操作者可各角度安全开启。
可用于高校实验室、科研院所、工矿企业做粉末焙烧、陶瓷烧结、高温实验、化学分析、材料处理、电子、陶瓷、玻璃、塑料、晶石、宝石、钢材、贵金属、冶金、化工、机械、耐火材料、新材料开发、特种材料、材料质量检测之用。
可根据用户需要设计制造特殊规格产品。
三温区管式低真空CVD系统是由小型CVD系统厂家洛阳实验电炉生产的1200℃小型CVD系统。
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洛阳实验电炉有多年高温马弗炉生产研发与生产经验.产品有箱式马弗炉,高温实验电炉,高温真空炉,管式炉,气氛真空炉,结晶炉等高温电炉
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